




特种气体系统的设计与施工
管道系统的设计
1.材料的选择
特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光(EP)管道,特种气体报价,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。
2.主管路系统的设计
在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路***1短,拐弯***少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定,基本都采用小管径输送(1/4-3/4)而且多设计了备用系统。
特种气体系统的设计与施工
供气系统的选择
常规供气系统
常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂,特种气体生产厂,50MW以下的太阳能电池生产线,发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻,系统配备在满足安全的前提下尽量简单,节省***。
特种气体采用普通钢瓶(lt;50L)供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器,彩色触摸屏;气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,佛山特种气体,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;专用氮气吹扫起源等等。
特种气体的作用:
1、做保护介质,通常使用氦气、ya气、氮气用于高纯净、超绝缘、超导等。
2、检测及比较介质,通常会根据使用的仪器配制标准气体,用于质谱仪、气相色谱仪、核测、报警、检漏、医1疗、电子、原子吸收、化学检验等。
3、能量介质,主要用到氢气、氧气等,是航空航天的重要燃料。
4、切割、焊接的介质,应用于电光源工业、玻璃制造、机械加工、航空航天1、基础建设等。
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