北京星微自动化科技有限公司
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概述：超高真空兼容的丝杆运动平台，在***小的高度、负荷高达几公斤的情况下提供长行程运动***。采用“V”型滚轮导轨，金刚石修改正的丝杠和配件确保平滑的运动，精研螺母保证良好的稳定性，预紧力螺母消除间隙。
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特点：LTVL/LTVH/LTXL/LTXH系列-真空高低温耐辐射步进电机运动平台（可定制）
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行程： 50 to 250mm；（LTX系列25-85mm）
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分别率：1um/步；
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无回滞，刚性强；
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承载能力：20kg；（LTX系列是50kg）
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可直接堆叠 XYZ三轴平台
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真空度：1 x 10-10 mBar；
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温度范围： -65ºC 到 +175ºC
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防辐射： 1 x 106 Gy ；
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烘烤温度：200°C；
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“V”型滚轮导轨
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金刚石修正丝杠和相配的螺母
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规格
单位
LTVL
LTVH
行程
mm
50/ 100 / 150 /200 /250
50/ 100 / 150 /200 /250
整步分别率
μm
5
1
***大速度
mm/s
15
4
推荐真空环境中速度
mm/s
2
0.8
重复***精度
μm
1
0.2
水平负载能力
kg
20
20
负载力矩
Nm
<5
<5
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A
kg
3
10
间隙
μm
忽略不计
忽略不计
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载
μrad
<25
<25
Roll Compliance
μrad/Nm
33
33
Pitch & Yaw Compliance
μrad/Nm
33
33
直线度
μm
<1.3μm / 100mm
<1.3μm / 100mm
使用步进电机
D35.1
D35.1
真空度
mBar
1 x 10-10
1 x 10-10
***大恩度
°C
200
200
平均故障间隔时间
hrs
15,000
10,000
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规格
单位
LTXL
LTXH
行程
mm
25 / 55 / 85
25 / 55 / 85
整步分别率
μm
5
1
***大速度
mm/s
15
4
推荐真空环境中速度
mm/s
2
0.8
重复***精度
μm
1
0.2
水平负载能力
kg
50
50
负载力矩
Nm
<20
<20
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A
kg
3
10
间隙
μm
忽略不计
忽略不计
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载)
μrad
<25
<25
Roll Compliance
μrad/Nm
5
5
Pitch & Yaw Compliance
μrad/Nm
2
2
直线度
μm
<1.3μm / 100mm
<1.3μm / 100mm
使用电机
D35.1
D35.1
真空度
mBar
1 x 10-10
1 x 10-10
***大温度
°C
200
200
平均故障间隔时间
hrs
15,000
10,000
