




特种气体系统:
管道系统的设计
材料的选择
特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光(EP)管道,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 .
辅助系统的设计
气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动,阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检,气体的置换也需要用到高压氮气或氦气,所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。
特种气体系统的设计与施工
特气供气系统
大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),特种气体要多少钱,发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的***规模巨大,采用***1***的工艺制程设备,特种气体生产厂,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出***严格的要求。
特种气体系统:简单供气系统
由于气体流量小,不经常使用,特种气体气源多采用普通钢瓶(lt;50L)。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板;配置继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空,哈尔滨特种气体,***性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统,特种气体报价,有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房,甚至没有气体房,特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道,或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别***气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。
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