SST 3130真空烧结炉
特点：
35 sq. inch的工作区域
不锈钢腔体，深度为10 inches
独特的石墨电阻式加热元件
可变尺寸的加热器
真空<50 mtorr，正压高达4.5 atm
可配2个工艺气体
水冷工艺腔体
多个区域温度记录（可选）
湿度记录（可选）
氧气分析计（可选）
冷凝泵， 分子泵，干泵（可选）
甲酸系统（可选）
助焊剂过滤（可选）
主要应用
声表器件
光电器件
混合电路
管芯，另件和衬底焊料粘贴
MCM
MMIC
高温钎焊
三维封装
盖板封焊
无空洞封焊
高真空气密性封焊
低含水气量封焊
性能规格：
PC微机控制，程序编辑，Windows操作系统
电脑控制温度和压力控制
口令保护多个用户存储作业
多段温度曲线图, 多段真空或压力图
附有跟踪球的标准PC键盘
彩色触摸LCD屏操作，无需键盘、鼠标
易编辑多种的温度和压力斜坡以及延迟
并行打印机接口
温度范围：500℃（1000℃可选）
热工作面积：35 平方英寸
***小真空度：50毫托
油封泵：12/10CFM
可编程时间99小时59分59秒
腔体气压：50PSI (4.5bar)
工作气体: 氮气; ***气，氦气，混合气体可选
冷却水: 2GPM，20-25℃, ***小容量2KW
输入功率：13.2 kW-20.0 kW
电压:220V，频率: 50Hz，单相
尺寸：137 x 109 x 135 cm
重量：545 kg
可进入互连网, 提供故障诊断, 维护和升级服务