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特种气体系统的设计与施工

供气系统的选择

简单供气系统

简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的***预算低。

惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，南通特种气体，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别***气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。

特种气体管道的施工

特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。***后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。

预制间的选择

特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于特气项目，一般都建有一个标准的预制间。

特种气体:高纯氯1气

高纯氯1气制取方法

高纯氯的生产方法仍以工业氯为原料，吸附净化。工业液1氯中的杂质含量较多，欲制得高纯氯必须把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，除H2O外其余杂质的沸点均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分离法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不仅剧1毒，且具有强氧化、强腐蚀的异常活泼的化学性质，特种气体厂家哪家好，除少数稀有气体外，几乎能与所有元素形成化合物。因此要筛选不受氯腐蚀、不与氯起化学反应的干燥剂、吸附剂，以及这些吸附剂的化学处理、再生等。