郑州科佳电炉有限公司生产的多通道质子混气供气系统(主要产品是1-4通道混气供气),可将多种气体按一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制,流量计和混气罐都安装在一个移动柜内,而且移动柜顶部可以放置管式炉。此系列设备可用于搭建CVD系统,也可为样品退火提供所需的气氛环境。
技术参数
设备名称 |
4通道供气系统GSL-4Z |
3通道供气系统GSL-3Z |
2通道供气系统GSL-2Z |
供气系统 |
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移动柜 |
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压力表量程 |
-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
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不锈钢截止阀 |
采用316不锈钢制作 |
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气体连接管 |
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混气罐尺寸 |
Φ80X120mm |
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仪器尺寸 |
600x600x650 mm |
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质保 |
一年质保期,终生维护 |