技术参数：
场发射(FE-SEM)部分：
1.分辨率:
高真空(SE):1.0nm at 30kV,2.2nm at 3kV ,4nm at 1kV
低真空模式(LVSTD,BSE):2.0nm at 30kV
2.放大倍数:1 ~ 1000000x
3.真空系统:枪体真空<1*10-6Pa
低真空：7 ~ 500Pa,高、低真空可随时方便切换.
4.加速电压0.2kV to 30Kv
5.电子束电流 ：2pA ~ 200nA
离子束(FIB)部分：
6.分辨率：
Canion机型：<5nm (30kV)
Cobra机型：<2.5nm (30kV)
7.放大倍数:150 ~ 1000000x
8.真空系统:枪体真空<5*10-6Pa
9.加速电压：0.5kV to 30kV
10.电子束电流 ：1pA—40nA （Canion)
1pA—50nA （Cobra)
11.样品室内部直径：340mm(宽)*315(深)
样品室门：340mm(宽) x 320mm(高)
12.样品台行程:
X=130mm--马达驱动(50 mm to +80 mm)
Y=130mm--马达驱动(65 mm to +65 mm)
Z=100mm--马达驱动
旋转﹕360度连续--马达驱动
倾斜﹕-60度~90度--马达驱动
***大样品高度：139mm
13.样品台***大承重可达10KG