电容式位移传感器ZNXsensor测量显微镜移动平台的微量位移
无论是生物工程中的细胞操作、集成电路或光电子器件的加工,还是采用电子显微镜进行纳米操作,尽管其精度要求各不相同,但在硬件装备中均有一项共性的关键技术,那就是要解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和******。要实现这项关键技术,高精度控制系统是非常重要的。搭建了一种闭环控制系统,用于控制某特性显微镜工作台。传感器的使用是闭环控制中必不可少的一环，电容式位移传感器的精度决定着系统的精度。
显微镜移动台在移动停止后会有一定的反弹，平台移动总的的位移量有几毫米，但反弹量很微小，但反弹量决定了平台的移动精度。可以使用电涡流传感器测量平台的较大范围的移动，使用ZNXsensor电容式位移传感器测量反弹的微小位移。
ZNXsensor电容式位移传感器是一种非接触式的电容式位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。
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