大型大平面铝镜银镜真空镀膜生产线
连续式磁控溅射镀膜生产线主要用于压加力板材、玻璃、陶瓷、手机壳、电脑、PC、PET等表面磁控溅射高质量、多功能金属膜、防干扰电磁屏蔽膜(EMI)、反应膜、复合膜、透明导电膜(ITO)、抗反射膜(AR)、增反射膜等。具有大吞吐量连续式磁控金属化生产,采用同行业******的生产工艺,极大地提高了膜层与工件的结合力、附着力。连续式自动生产线保证了产品的一致性与稳定性,全制程无废气、废水排放,产品符合欧洲环保法要求。
生产线技术特点
(1) 生产线采用大面积溅射沉积厚度均匀性控制装置,实现了均匀性可根据生产状态变化进行调整;
(2) 生产线可以同时实现多层介质膜和导电膜或金属膜的连续生产;
(3) 生产线可以采用压电阀闭路环控制工艺生产SiO2层;
(4) 生产线安采用了***的插板阀进行腔室隔断,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。我司具有设计和加工插板阀的能力,采用插板阀设计密封效果更好,更耐用;
(5) 生产线采用了均匀进气管结构设计,气流注入均匀平缓;
(6) 生产线采用了***的磁导向传动系统,基片架传动平稳;
(7) 电气控制系统:触摸屏与 P C L 自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制。
技术参数
(1) 极限真空压力:6×10E-4 Pa
(2) 平均生产周期:80-180 秒/架
(3) 基片架尺寸:850mm×1500mm(可以根据要求定做)
(4) 膜层均匀性: &plu***n;3%