




氦气质谱检漏的用方法
氦质谱检漏-背压法,背压法的检漏首要应用于各种电子元器件产品检漏。该办法检测灵敏度高,能完成小型密封容器产品的走漏检测,能够进行批量化检测。可是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时刻太长。此外,每个丈量漏率都对应两个等效规范漏率,在细检完成后还需求选用其它办法进行粗检,扫除大漏的或许。
特种气体系统:简单供气系统
由于气体流量小,高纯度特种气体供应商,不经常使用,特种气体气源多采用普通钢瓶(lt;50L)。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板;配置继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空,***性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统,有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房,甚至没有气体房,特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道,或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别***气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。
特种气体系统的设计与施工
特气输送系统是指:将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是:气源→控制柜→管道传输→用气点
分类
特种气体根据气体性质不同一般分为:惰性气体、易1燃易1爆气体、有***体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。
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