该研磨机生产效率高，对工件的损伤也几乎没有。在精密度上也很高，采用变频调速及全齿轮传动，使机器在工作时更加平稳。
主要用途：
本设备主要用于蓝宝石衬底、钨***片、***片等硬脆材料的精密研磨。
工作原理：
A：本系列研磨机为超高精密研磨设备，上、下研磨盘做相反方向转动，工作在载体内既做公转又自转的游星运动。磨削阻力小，不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。
B：修盘机采用油压悬浮导轨前后往复运动，配合金刚石修面刀对研磨盘进行精密修整，使研磨盘得到精密的平面度。
高精密研磨机特点：
1.本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。
2.采用四个电机同步运行，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小。
3.修面机采用伺服马达驱动，能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳，得到的平面修整效果更好。
4.控制系统中采用DSP、web-link、彩色终端等***技术、系统的响应速度更快、更***，并具有远程监控，远程维护功能。
5、采用***的西门子产PLC程序控制器，控制整机的动作，自动化程度高，并由与之匹配的西门子***art 700大屏幕触摸屏作界面，显示当前整机状态，实现人机对话，操作一目了然。
6、采用变频调速及全齿轮传动，使整机工作时起动平稳、运转稳定，尤其在低速运转时，克服了上、下研磨盘的窜动、爬行现象。
7、采用亚德克生产的气动执行元件与***C生产的气动控制元件配套，实现研磨盘分轻压、中压、重压、精研等四个阶段的压力无级调节，为磨削工件提供更出色的研磨效率及更广泛的磨削工艺选择。
8、大齿圈可以升降，且升降位置可以调节。太阳轮的高度也可以通过定期增减垫片数量进行调节。
9、本设备可设定和存储三十套不同的工艺参数（压力、速度、时间、圈数）供使用者选用。
10、配有主气缸端锁机构，可方便、安全锁定上研磨盘
主要技术参数：
研磨盘规格 Φ965xΦ385x45 齿圈升降高度 35mm 主电机 Y132M-4 7.5KW
行星轮规格 DP12 Z=152 α=20° 下研磨盘转速 0-50RPM 副电机 Y90L-4 1.5KW
放置行星轮个数n 3≤N≤6 主气缸 Φ125x450 mm 砂泵电机 AB-100 250W
产品研磨平行度 0.002mm 行星轮数量 6个 修盘机电机 200W
研磨工件厚度b 0.2mm≤b≤20mm 升降气缸 Φ80x250 mm 设备外形尺寸 1700x1350x2650（长x宽x高）
研磨工件理想规格 Φ200mm 端锁气缸 32x15 mm 设备质量 3000kg
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