光刻板-苏州微麦光电有限公司

公司产品包括石英掩膜版，苏打掩膜版，以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图，定制版图，苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务！

光绘菲林尺寸涨缩原因分析

1、温度的影响

在相对湿度下，光绘菲林的尺寸随着温度的上升而涨大，温度下降而缩小，其热涨变形系数在18ppm/℃左右，也就是说当温度发生1℃的变化时，50cm长的菲林会发生9um的变化(或20寸中的0.36mil).

2、湿度的影响

在相对温度下，菲林的尺寸随着湿度的上升而涨大，相对湿度的降低而缩小，湿涨变形系数在10ppm/%RH右，也就是说当湿度度发生 1℃的变化时，50cm长的菲林会发生5um的变化(或20寸中的0.20mil).

3、胶片在光绘前没有经过预置

由于胶片制造时无法预先控制胶片中的湿度与每个生产车间的湿度一致，因此使用之前应先使其与工作环境达到平衡的状况。建议预置时间为12小时，预置时必须打开胶片的内包装，使其与外界的空气充分接触。

公司产品包括石英掩膜版，苏打掩膜版，以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图，定制版图，苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务！

光刻掩模板一般用石英玻璃作为基体，采用石英是由于其优良的近紫外透过率。

掩模板挡光部分用Cr，所以有时也叫铬板。

采用灯的g线或i线，取决于你所用的光刻胶，每种光刻胶产品说明都会列出其所敏感的光波段。

公司产品包括石英掩膜版，苏打掩膜版，光刻板，以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图，定制版图，苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务！

菲林在使用中需注意的事项

其他条件不变，显影液的浓度越高，温度越高，则胶片的高密越高。如果用国产的显影液(例如：爱比西SH-1000)冲洗胶片，一般要将药液按1：4～1：3稀释，要注意显影温度设定过高会使显影液因蒸发、氧化速度过快而失效，造成菲林灰雾度过高，同时高密达不到要求。推荐温度为34～36℃，并且要在显影温度稳定且达到设定温度时再测密度和做线性化。