产品应用：
DC、RF、mmW测试；
纳米级电子器件测试、微机电测试；
超导测试。
产品特点：
80k-573k温度范围，可扩展至4k-1073k。
载物台内部液氮浸润式结构，快速降温，液氮使用量更少，节约耗材成本。
高真空不锈钢真空腔体（配套分子泵组可达10-6mbar）。
低温测试时真空腔体体内无凝露、结霜。
红外截止玻璃观察窗，提升测试腔内部温度稳定性。
4探针点测系统，***多可定制8探针点测系统。
配套同轴或三轴电缆可应用于高精度的DC测试。
配套微波测试套件可应用于DC-67GHz的RF测试或频率更高的mmW测试。
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技术指标 |
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载物台 |
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尺寸 |
4"（2"、6"、8"方案可选） |
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材质 |
合金铜 |
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表面处理 |
可选纯金镀层或沉镍镀层 |
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平整度 |
<50µm@300℃ |
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载物台移动基座（可选项） |
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X-Y轴行程范围 |
4"*4"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选 |
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精度 |
1μm |
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R轴微调角度范围 |
&plu***n;9° |
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R轴微调精度 |
0.0001°/deg |
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Z轴细调行程范围 |
13mm |
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细调精度 |
1μm |
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Z轴快升行程 |
350μm |
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Z轴往复精度 |
<1μm |
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温度控制系统 |
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温度范围 |
80k-573k |
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温度精度 |
0.1℃ |
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温控精度 |
温控精度0.1℃，连续变温无节点。 |
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温度均匀性 |
0.1℃@4(100mm)载物台。 |
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加热方式 |
电阻加热 |
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制冷方式 |
液氮制冷 |
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杜瓦罐容量 |
80L自增压液氮杜瓦罐 |
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致冷剂消耗量 |
15L液态氮（室温降至80k） |
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温度扩展范围 |
4k-1073k |
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真空系统 |
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真空度 |
10-3mbar*（可配套分子泵组，达到更高的真空度10-6mbar） |
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真空泵 |
旋片式双级油封真空泵，可升级涡轮分子泵组 |
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抽速 |
16m3/h |
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抽真空时间 |
5min（10-3mbar） |
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真空焊接波纹管 |
三维弯曲大于25mm（定制参数） |
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法兰 |
KF（更高真空度要求则使用CF） |
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真空腔体 |
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腔体材质 |
不锈钢 |
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观察舷窗 |
红外截止玻璃** |
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真空泵接口法兰 |
KF25 |
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液氮接口法兰 |
KF25 |
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点测系统 |
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探针座数量 |
4个（***多8个，可根据需求定制） |
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探针夹具 |
4个（***多8个，可根据需求定制） |
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***精度 |
5μm（可根据需求定制） |
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X-Y-Z轴移动行程 |
25mm*25mm*25mm（可根据需求定制） |
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光学系统（体视显微镜） |
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光学放大倍数 |
15X-100X |
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变焦倍率 |
0.75X-5X（变倍比6X） |
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CCD |
1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 |
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显微镜旋臂 |
两段式显微镜支架，可快速移动***显微镜 |
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光学系统（单筒显微镜） |
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光学放大倍数 |
400X(21英寸显示器) |
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变焦倍率 |
0.58X-7X（变倍比12X，超大变倍范围） |
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CCD |
1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 |
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显微镜旋臂 |
两段式显微镜支架，可快速移动***显微镜 |
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显微镜移动基座（可选项） |
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X-Y轴行程范围 |
2"*2"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选 |
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精度 |
1μm |
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防震台 |
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隔震方式 |
气囊式防震台 |
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固有频率 |
1.2Hz（水平），1.5Hz（水平） |
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样品振动 |
<300nm（真空泵工作时） |
*低温测试时真空腔体内无凝露或结霜。
**红外截止玻璃：过滤红外光，防止红外光进入真空腔体内使腔体内部升温，提升载物台温度稳定性。
***77k为液氮温度，实际操作中，由于载物台热传导损耗的存在，无法达到77k。根据液氮循环的时间而定，实际***低温度不会低于85k。
特别提示
1. “产品应用示例”栏目下的图示是为方便客户理解产品应用而拍摄的产品应用示意图片，实际销售的商品配置，请您参考“产品配置说明”或咨询我司***人员。
2. 若我司的***人员无法及时答复您的问题，请麻烦您致电深圳市展芯科技有限公司，电话：0755-86169688，我们将在***短的时间内响应您的需求。
品牌简介-PRCBE
展芯科技是一家***的探针台系统研发和生产商，致力于为用户提供中国（PRC）精准（Precise）、可靠（Reliable）和高性价比（Cost-effective）的探针台系统。
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