美国ESI公司的激光调阻机是器件和电路进行调阻的理想平台。它广泛应用于混合集成电路、PCB电路，半导体晶圆和***T电路领域。
- 拥有专利的光斑校准和检测系统确保光斑准确、有效。
- 进行激光调阻的同时，能够集成各种测试手段，做到快速准确。
- 基于WINDOWS的操作系统，极大地方便用户应用编程和操作。
- 带有GPIB和其他接口的VXI构架，方便用户连接各种检测仪器。
M350 Wafer 激光修调系统
一款***的新平台，高精度，高产能，***优化的Wafer级线性和混合信号IC修调，完全整合的激光修调和Wafer探针系统。
闭环X,Y,Z,θ平台
X-Y精度&plu***n;2um
X-Y分辨率0.02um
Z轴范围10mm
Z周分辨率0.13um
θ角范围&plu***n;5°
θ角分辨率1.4urad
Wafer 100-200mm