PDS2060PC 全自动Parylene真空气相沉积系统
SCS Parylene 沉积系统是为***的，可重复性的***敷型涂敷产品而设计的，具有高生产能力和操作简单的特点。可应用于高要求的三防保护、半导体、MEMS、传感器、生物***、磁性材料、***保护等领域。它已被广泛用于航空、航天、***、微电子、***、文保等方面的隔离保护，不会影响任何电子元件或基板的性能，是一种性能优异的高聚物材料。
设备特性：
- 模块化结构，可接各种尺寸的水平或垂直沉积腔室
- 全计算机控制，图形操作界面的运行状态及参数显示
- 全闭环压力控制保证沉积的均匀性及一致性
- 所有参数可储存及输出色彩打印拷贝
- 专利的自动涂层结合力促进剂蒸发装置
- 很少的人为干预降低对操作者的要求
- UPS后备电源保证涂敷过程的完整性
- 完备的安全报警及错误信息显示
薄膜特性：
- 在工件表面形成一层非常均匀的耐腐蚀分子膜
- 致密无***，透明无应力，不含助剂，不损伤工件
- 可涂敷到尖锐的棱边和裂缝，涂层厚度可控制在小于0.1微米-100微米或更厚，膜层具有***的水汽隔离特性。