CdZnTe衬底
CdZnTe是具有闪锌矿结构的连续固溶体,晶格常数在0.6100 ~ 0.6482 nm之间连续可调,能与不同波段的红外探测晶体HgCdTe实现完全晶格匹配,减少外延层的失配位错,且因Zn的引入,增加了晶格强度和堆垛层错能,降低了位错密度和形成孪晶的可能性。
CdZnTe单晶是目前公认的***佳HgCdTe外延衬底,广泛应用于国防、安防、***、制导的红外探测设备。
技术参数
材料 |
Cd1-xZnxTe单晶,x=0.04 |
类型 |
p型 |
尺寸 |
14×14×1.3 mm3,10×10×1 mm3 (可定制其他尺寸) |
晶面指数 |
(111)、(211) |
定向及偏差 |
晶向偏差≤0.3° |
电阻率 |
ρ>106 Ω·cm |
红外透过率 |
≥60% |
红外成像 |
≤2μm的Te夹杂相 或 ≤2μm的Cd夹杂相 |
双晶衍射半峰宽(FWHM) |
≤30 rad·s |
腐蚀坑密度(EPD) |
1×104 /cm2 ~ 5×104 /cm2 |
表面粗糙度 |
Ra≤5 nm |
包装环境 |
百级超净间,真空外包 |
温度 20℃ ~ 25℃,相对湿度45% ~ 60% |