




真空镀膜设备有哪些基本技术要求呢?瑞泓科技小报来告诉您。
1、设备中的真空管道、静态密封零部件的结构形式,应符合GB/T6070的规定。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。
3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,真空电镀公司,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱
4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。
是不是觉的知道了真空镀膜原理就想着回去试试,先不要着急,来看看真空镀膜中真空系统的工作原理,或许对你更有帮助。
真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发。
1,粗抽泵(统称机械泵)他的排气口,直接排放到大气,但极限(能力)小。范围(1E0~大气压)。
2,真空电镀厂,罗茨泵,必须在排气口接一个机械泵,工作范围(5E-2~1000Pa),如果没达到工作范围(1000Pa)以上的真空度,运转罗茨泵,使负载大,烧坏罗茨泵的。
3,分子泵(油扩散泵):以扩散泵为例,工作范围(1E-7Pa~5pa),排气口压力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于,扩散泵不起作用,真空电镀,还会使扩散泵油氧化。
4,粗抽阀,是机械泵开启后,开启粗抽阀。
1、在集成电路制造中的应用:薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。可选用PECVD磁控生产线。
2、在信息显示领域的应用:液晶屏、等离子屏等。选用AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线。
3、在信息存储领域的应用:磁信息存储、磁光信息存储等。可选用磁控溅射镀膜设备。
4、在装饰饰品上的应用:手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜。可选用蒸发式真空镀膜设备。
5、在电子产品领域的应用:液晶显示器、液晶电视、MP4、车载显示、手机显示、数码相机和掌声电脑等。可选用抗反射导电膜连续磁控溅射生产线。
6、在触摸屏领域的应用:手机、电脑、MP4等数码产品屏幕等可选用触摸屏连续式镀膜生产线。
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