在蔬菜加工中如榨菜、萝卜、小黄瓜等，为了延长产品的保质期，往往采用包装后高温杀菌的工艺，这样不仅对产品的色泽、质地等带来了不利的影响，而且还消耗了大量的能源。利用臭氧水冷杀菌新技术可避免传统加工工艺对产品质量带来的不利影响，并且可提高产品质量，降低生产成本。
在饮料、果汁等生产过程中，臭氧水可用于管路、生产设备及盛装容器的浸泡和冲洗，从而达到消毒灭菌的目的。采用臭氧水浸泡、冲洗一是管路、设备及盛装容器表面上的***、病毒大量被冲淋掉；二是残留在表面上未被冲走的***、病毒被臭氧***，简单省事，无死角。利用臭氧水对生产设备等消毒灭菌技术结合膜分离工艺、无菌灌装系统等，在酿造工业中用于酱油、醋及酒类的生产，可提高产品的质量和档次。
在水制品加工中，在冷冻水产品的冻前处理中，通过臭氧水喷淋杀菌对水产品的卫生指标可以起到很好的控制作用。