5、半自动小尺寸晶圆探针台
HSP-100 可测4’’晶圆
HSP-150 可测6’’晶圆
此款半自动探针台系统支持4’’或6’’小尺寸晶圆。
设备装配有高精度X-Y-Z-θ四维闭环操作样品台，具有非常好的高精度***和可重复性。
这款探针台系统确保探针可靠接触。
此款探针台系统支持高温样品座，温度从20℃到300℃。
此款探针台系统可支持高电流和高电压选项。
应用：
温度范围：20℃到300℃
超低信号I-V测量（f***）
各种C-V测量（准静态C-V, HF-CV，RF-CV）[sub pF级]
RF测量（到67GHz）/S 参数测量
超高速I-V测量
扩展应用：
支持探卡（支持多点位晶圆可靠性测试WLR）
可加激光切割（点标记，保护层剥离，金属层切割）
有效隔离振动和超高精度影像识别（精度： &plu***n;1 um或更好）
光电子中光接收/发散特性评估应用（如：LED，LD，VCSEL，PD）
高功率元器件测量（200A脉冲，+/-3kV三轴,+/-10kV同轴）
晶圆的可靠性测试（如：EM，TDDB，HCI，NBTI，BT）
日本 Hisol 探针台系统
从低信号到高功率测试，从DC，I-V，C-V测试到RF测试。
我们为半导体和FPD（平板显示器）提供分析探针台系统，我们能提供从紧凑的手动探针台到半自动300mm尺寸的探针台，温度从-65℃到300℃变温测试。
我们能定制***合适探针台满足您的实际测试需求。
我们的探针台系统符合宽范围测试需求，从低信号测试到高功率，从DC参数分析到RF测试，晶圆可靠性测试，磁场测试，光学测试。
日本HiSOL公司探针台特点：
测量芯片尺寸：2’’到12’’
手动和半自动探针台
f***超低电流测试
fF级超低电容测试
高频测试可到67GHz
大气环境下，样品温度：-65℃~400℃
真空环境下，样品温度：4K~500℃
1/f噪音，RNT测试
脉冲I-V测试，超高速I-V测试
高电流测试（脉冲电流可到200A）
高压测试（~10KV）
静电放电（ESD）评估
故障分析
电磁激励测量
光电（VCSEL，PD等）测量
芯片可靠性测试（EM/TDDB/HCI/NBT/BT）