EMS1050低温灰化仪应用领域：
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生物芯片领域
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***材料、光学材料研究
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电子半导体领域
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高分子材料研究
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电化学、***零部件处理
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有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能：
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自动调频高频发生器
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内置旋转真空泵
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此系统通常使用氧及***的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），***对样品表面进行刻蚀
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低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
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真空监测.
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双重气流针阀控制
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***时间定时
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微处理器程序设置
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LCD状态数字显示
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腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便
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聚碳酸脂安全防护
技术参数：
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