| 型号 | Flex-85 | |
| 外形 | 3,000mm（宽） x2,500mm（长） x 2,500 mm (高 ) | |
| 重量 | 7500KG左右 | |
| 电力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | |
| 修复能力 | 可修复样品尺寸 | 3~85寸 |
| 可修复范围 | 显示区内任何位置 | |
| 修复时间 | 120S左右每个像素（尺寸200um*100um的pixel） | |
| 适用产品类型 | Cell段产品（OLED面板，IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板），模组段产品（已贴偏光片，带TP模组） | |
| 遮光性 | 修补颜色在模组背光下不可见 | |
| 平台功能 | Gantry结构 | 龙门式 |
| X-Y-Z 行程 | 2000*1200*50mm | |
| 移动精度 | 0.1um | |
| X-Y运动速度 | 0~200mm/s | |
| Z 运动速度 | 0~2mm/s可调 | |
| *** | AOI坐标自动*** | |
| 光学特性 | 光路系统倍率 | 50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects |
| 物镜切换速度 | 0.2~0.7s | |
| 聚焦 | 激光自动聚焦 | |
| 光学分辨率 | 0.7um | |
| 相机 | 200W/500W像素工业相机 | |
| 激光特性 | 激光系统 | 激光切割系统(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object，532nm) |
| 能量调节精度 | 0-1000 steps | |
| 0-100% | ||
| 激光波长 | 1064nm，532nm，355nm | |
| 脉宽 | 500fs | |
| 光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object | |
| 1.0~3.0um @50X object | ||
| 激光寿命 | ＞10年，维护间隔＞6,000小时 | |
| 扫描面能量均匀性 | 优于5% IR | |
| 工作模式 | Scan扫描式 | |
| 扫描形状 | 可任意定义形状 | |
| 工艺参数 | 软件可以添加任意组工艺参数 | |
| 控制 | 工作模式 | 自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯 |
| 手动或者半自动修复 | ||
| 上下片 | 机械手或者流水线 | |
| CIM系统 | 有 | |
| 减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 | |
| 工业PC | 23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G***显卡，DVD-ROM | |
| 通讯接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | |
| 安全 | 整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作 | |
| 紧急开关EMO | ||
| 限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁 | ||
| Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) | ||
| 应用 | TFT-LCD Panel亮点的修复，OLED Panel亮点的修复 | |
鑫志尚（深圳）电子有限公司
普通会员第16年
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公司主营：探针台,半自动探针台 失效分析探针台 真空高低温探针台 激光修复仪 镭射修补机 模组激光修补机