LCVD激光修复机

型号

LCVD-G4.5

LCVD-G8.5

外形

2,500mm（宽） x2,000mm（长） x 2,500 mm (高 ) 

4,000mm（宽） x3,500mm（长） x 2,500 mm (高 ) 

重量

6.5吨左右

10.5吨左右

电力需求

380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max

380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max

修复能力

可修复产品尺寸

长宽≤920 * 730 mm(W x D) , 厚度≤3mm

长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm

沉积材质

W,Cr,Mo,Al

沉积线路速度

5~10um/s(厚度5000 埃)

单处缺陷修复时长

***后，修复单处缺陷时间在5s左右

工艺参数

软件可以添加任意组工艺参数

Cutting宽度

2um到50um可调

沉积宽度

3um到30um可调

沉积边缘精度

+-0.5um

沉积厚度

2000  ~15000  埃可调

沉积线路的电阻值

<65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000  埃)

沉积稳定性

1.清洗机清洗次数>10 times

2.棉签蘸擦拭>500次

3.强酸碱测试>1H

3.毛刷擦拭>1H

4.超声波1MHZ>1H

平台功能

Gantry结构

龙门式

X-Y-Z运动行程

920 *730*58mm(X-Y-Z)

2500 *2200*58mm(X-Y-Z)

X-Y运动速度

0~200mm/s可调

精度(***小移动量)

0.1um

Z 运动速度

0~2mm/s可调

精度(***小移动量)

0.1um

重复***精度

+-5um

修复对位精度

0.1um

减震

主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动

照明

平台有下光源，并且能够上下光源切换，罩内安装照明，照度达到1000lux以上。

光学特性

光路系统倍率：

50X~ 1000X

5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects

光学分辨率

0.7um

物镜切换速度

0.2~0.7s

切换镜头偏差

小于3um

聚焦

激光自动聚焦

相机

200万像素

激光特性

能量调节精度

0-1000 steps

0-100%

Slit 窗口调节大小

0~2.4mm

slit 窗口控制精度

1um

激光能量校准方式

自动校准

校准时间

3mins

激光能量校准精度

优于2%

脉宽

< 12 ns

光斑尺度

2.0~ @50X  object  1064nm (在标准mask上测试)

扫描面能量均匀性

优于5% IR

修复工作模式

Scan扫描式和 Step模式

扫描路径

可任意定义路径

控制

工作模式

自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯

手动或者半自动修复

上下片

机械手或者流水线

CIM系统

有

减震

主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动

工业PC

23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G***显卡，DVD-ROM

通讯接口

RS232/EtherCAT/GPIB等

安全

整机带罩，操作人员在罩外操作

紧急开关EMO

限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁

Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) 

应用

TFT-LCD 和 OLED Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复