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上海乾钛实业有限公司

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我公司专业经销批发各种镀膜材料、镀膜机、真空泵油扩散泵油、金属靶材、钨丝、铝丝品种齐全、价格合理。公司实力雄厚,重信用、守合同、保证产品质量,以多品种经营特色和薄利多销的原则,赢得了广大客户的信任。1.真空镀膜设备,蒸发机,多弧机,磁控镀膜设备,长期供应全新真空镀膜设备及二手真空镀膜机,不锈钢散件,......

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产品编号:7351693                    更新时间:2017-06-17
价格: 来电议定

上海乾钛实业有限公司

  • 主营业务:真空镀膜设备 蒸发镀膜机 离子镀膜机 二手真空镀膜设备 金...
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产品详情

表1. D07-7B 型MFC性能指标

编号

项     目

D07-7B  型

1

流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

( 0~1,2,3,5,10)                    SLM

2

准确度

&plu***n;1.5  % F.S

3

线性    

&plu***n;1  % F.S

4

重复精度 

&plu***n;0.2  %F.S

5

响应时间

电特性:      10   sec
  气特性:  ≤ 4  sec

6

工作压差范围

(0.1  ~ 0.5)  MPa

7

耐压

3  MPa

8

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

9

输入输出信号

0  V ~ +5.00 V

(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

10

电源

+15  V   50 mA

-15V   200 mA

11

外形尺寸

见图4

12

重量

1.1  kg

 

注意:                                                                       

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量的单位规定为:  SCCM  (标准毫升/分);

            SLM    (标准升/分)

标准状态规定为:           温度 ---  273.15K  ( 0℃);

                          气压 —  101325 Pa (760mm Hg)

F.S. (FullScale):     满量程值

 

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