青岛福润德微电子设备有限公司目前的主要产品有太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备,真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉、高精度智能温度控制仪和替代进口的扩散炉炉体,同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。福润......
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加热炉体 可完全代替进口炉体,优质加热炉丝,进口保温材料,采用国外***加工工艺,炉体可长期使用在高温下,处理12英寸以下硅片,工作温度2000℃-1286℃。
设备特点:
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停/继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
技术指标:
可配置工艺管外径2~8英寸
可配置工艺管数量:1~4管/台
工作温度范围:400~1300℃
恒温区长度及精度:300~1250mm 800~1300℃&plu***n;0.5℃
单点温度稳定性:800~1300℃&plu***n;0.5℃/24h
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