石棉圈为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成,用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温,解决了以往用保温棉存在的两大问题:一是保温棉长时间在高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度,二是手动堵塞保温棉不均匀,影响工作区温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下,不粉化,不变形,不硬化,不氧防震,防腐蚀。
青岛福润德微电子设备有限公司
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