氢气还原炉主要用于电力电子器件、热敏电阻、可控硅模块、陶瓷金属等在氢气气氛保护下进行还原、退火、合金等工艺
技术指标:
工作温度:200—1300 ℃
加热元件:康泰尔丝
保温材料:高纯纤维制品
炉管材料:石英管、刚玉管
控制方式:PlD控制,参数自整定
加热区:根据工艺要求
报警保护:超温、水压、停气等声光报警保护
控制精度:&plu***n;1℃
青岛福润德微电子设备有限公司目前的主要产品有太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备,真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉、高精度智能温度控制仪和替代进口的扩散炉炉体,同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。福润......
价格: | 来电议定 |
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氢气还原炉主要用于电力电子器件、热敏电阻、可控硅模块、陶瓷金属等在氢气气氛保护下进行还原、退火、合金等工艺
技术指标:
工作温度:200—1300 ℃
加热元件:康泰尔丝
保温材料:高纯纤维制品
炉管材料:石英管、刚玉管
控制方式:PlD控制,参数自整定
加热区:根据工艺要求
报警保护:超温、水压、停气等声光报警保护
控制精度:&plu***n;1℃
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