s***00lc_s
可适用于***大第10代玻璃基板，能搬运的重量达400kg。有效利用多关节型的特点，不仅可用于水平搬运，还可广泛用于翻转等所有形式的玻璃基板搬运。
●具有6轴的多关节结构，可实现灵活搬运
- 可用于从立式收纳盒中取出基板以及伴有倾斜、翻转等姿势变换的所有搬运工作
●拥有充足的可搬运能力的长臂延伸模式
- 有能处理G10基板的臂长，其行程***大延伸至3.6m、上下行程为4.8m
- 工作范围
(*1) 本产品的额定功率、规格、外部尺寸等如需改良而变更，恕不另行通告。
(*2) 如果本产品的***后使用者与军事相关，或用于***等的制造，可能成为“外汇及国际贸易法”规定的出口限制的对象。出口时，请进行充分的审查和办理所需的出口手续。
| 机器人型号 | S***00LC-01 | |||
|---|---|---|---|---|
| 结构 | 关节型 | |||
| 自由度 | 6 | |||
| 驱动方式 | AC伺服方式 | |||
| *** 大 工 作 范 围 |
臂 | J1 | 旋转 | &plu***n;2.62rad |
| J2 | 上下 | +1.83～-.44rad | ||
| J3 | 前后 | ＋2.09 ～ －.44 rad | ||
| 手腕 | J4 | 转动2 | &plu***n;5.24rad | |
| J5 | 弯曲 | &plu***n;2.09rad | ||
| J6 | 转动1 | &plu***n;6.28rad | ||
| *** 大 速 度 |
臂 | J1 | 旋转 | 1.40rad/s |
| J2 | 上下 | 1.40rad/s | ||
| J3 | 前后 | 1.40rad/s | ||
| 手腕 | J4 | 转动2 | 1.57rad/s | |
| J5 | 弯曲 | 1.57rad/s | ||
| J6 | 转动1 | 2.53rad/s | ||
| ***大 搬运重量 |
腕部 | 400kg | ||
| 臂部 | 第1臂 | 10kg ※1 | ||
| J3轴上部 | 30kg ※1 | |||
| 手腕允许 静负荷 扭矩 |
J4 | 转动2 | 1,960N・m | |
| J5 | 弯曲 | 1,960N・m | ||
| J6 | 转动1 | 980N・m | ||
| 手腕允许 ***大惯性 力矩 |
J4 | 转动2 | 200kg・m2 | |
| J5 | 弯曲 | 200kg・m2 | ||
| J6 | 转动1 | 147kg・m2 | ||
| 清洁度 | 1000级（联邦标准209D） | |||
| 位置反复精度 | &plu***n;.5mm | |||
| 周围温度 | 10～30°C | |||
| 周围湿度 | 20～85%RH （应无结露） | |||
| 振动值 | 0.5G以下 | |||
| 设置条件 | 座架式 | |||
| 主机重量 | 3,800kg | |||
1 [ rad] =180 /π [ [ °] ,1 [ N ･m] =1 / 9.8 [ kgf ･m]
臂上的负荷搭载位置为第1臂或J3轴上部