集成热压阻共振悬臂梁，***可变换，成像时间 少于1分钟（无需激光对准）；
热距离传感器可在数秒内自动化完成针尖靠近；
热电MEMS驱动器高精移动悬臂针尖，具有低漂 移，适应长时成像实验；
系统高度集成小巧，具有极强的振动***性，可 在任意平面上直接测量，无需隔震；
氧化铝针尖具有超长使用寿命，可连续成像超过 10000张。
nGauge应用方向
技术参数
nGuage AFM参数
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zei大扫描范围（XYZ） |
15umx15umx10um |
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XY扫描分辨率 |
<0.5nm |
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XYZ驱动方式 |
电热法 |
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传感器 |
压阻 |
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动态RMS噪声 |
<1nm |
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成像模式 |
间断接触，动态AFM |
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扫描速度 |
>8lines/s |
硬件参数
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系统尺寸 |
70mmx90mmx75mm |
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载物台尺寸（XY） |
70mmx43mm |
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Z轴行程 |
20mm |
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驱动方式 |
步进电机 |
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系统重量 |
450g |
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隔震装置 |
无需额外隔震装置 |