型号：DY-900MX
产品用途：
本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、其他半导体材料等薄形精密零件的单面精密研磨及抛光。
产品特点：
1、本设备为单面精精密研磨设备，采用***的机械，结构和多种***控制方面，研磨加工效率高，运行稳定。
2、整机采用PLC+触摸屏控制系统，设备参数设置，和操作简单方便，系统运行稳定性高。
主电机采用变频调速控制，实现主机软启动、软停机，降低设备运行冲击，减少工件损伤。
工件研磨压力采用气缸加压方式，通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制，保证极高的施压精度与稳定性。
3、上压盘采用主驱动方式（选配）在确保产品研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。
研磨盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能，在保证研磨液发挥***大效率的减少研磨盘面的的变形。
设备自带盘面修整机，盘面修整后可保证0.01mm的修盘平整度。
具体参数
磨盘规格：900mm
陶瓷盘直径：360mm
主电机功率：7.5KW/380V
压盘电机功率：0.4KW/380x4
修整电机功率：0.2KW/380V
主电机功率：060RPM(MAX)
设备工位数：4个
设备规格：1200x2200x2500mm
设备重量：2300KG