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质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需***测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。
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质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需***测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。
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