ETD-900C 型离子溅射仪外观亮丽做工精致，是北京意力博通技术发展有限公司针对SEM用户研制生产的一款既能溅射金、银、铜、铂又能蒸发碳膜的一机多用设备。此款机器具有小巧方便操作简单成膜效果好之优点，可以满足广***EM用户随时样品制备的需要。
工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体，获得***佳镀膜效果。
配有高位定性的飞跃真空泵
Bright appearance of ETD-900C type ion sputtering instrument exquisite, is Beijing Elaborate Technology Deve. Ltd. for SEM users to develop a production of a new type of equipment which can sputter gold, silver, copper, platinum and carbon film. This machine has the advantages of ***all size, convenient operation and good film formation effect, which can meet the needs of SEM users at any time. It is easy to control the vacuum chamber pressure, ionization current and choose the required ionization gas when working in conjunction with the internal automatic control circuit, so as to achieve the best coating effect. High qualitative jump vacuum pump
参数
| 溅射气体 | 溅射靶材 | 溅射电流 | 溅射速率 | 样品仓尺寸 | 样品台尺寸 | 工作电压 |
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根据实验 目的可添加 ***气，氮气 等多种 气体。
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标配靶材为 金靶， 厚度为 50mm*0.1mm。 也可根据实际 情况配备 银靶、铂靶等。 蒸发材质为碳绳。 |
***大电流 50mA, ***大 工作电流3 0mA |
优于40nm/min |
直径160mm， 高120mm |
样品台尺寸 可安装直径 50mm和 直径70mm 的样品台， 样品台可调节高度。 也可根据自身要求定制样品台 |
220V (可做110V), 50HZ |
需要镀膜的样品
| 电子束敏感的样品 | 非导电的样品 | 新材料 |
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主要包括生物样品， 塑料样品等。 S EM中的电子束 具有较高能量， 在与样品的相互 作用过程中，它以 热的形式将部分 能量传递给样品。 如果样品是对 电子束敏感的材料， 那这种相互 作用会***部分 甚至整个样品结构。 这种情况下， 用一种非电子束 敏感材料制备的 表面镀层就可以 起到保护层的作用， 防止此类损伤； |
由于样品不导电， 其表面带有“电子陷阱”， 这种表面上的电子 积累被称为“充电”。 为了消除荷电效应， 可在样品表面镀 一层金属导电层， 镀层作为一个导电通道， 将充电电子从材料 表面转移走，消除 荷电效应。在扫描电镜 成像时，溅射材料 增加信噪比， 从而获得更好的 成像质量。 |
非导电材料实验电极 制作观察导电特性 |