无尘室/无尘车间等级标准
先说什么是无尘室,无尘室就是把压力,温度,湿度,气流的分布和尘埃还有速度,控制在一定范围内的一个空间。
而关于他等级标准是依据美国联邦***颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,无尘室的等级是用在一定尘粒的尺寸的级数来表示的。制造集成电路所需要的无策划你是的洁净度就必须高于1000级,联邦规格的等级中d清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。比如说:等级10是指空气中俺有10个0.5以下的时候。自然界大气中一般含有的微粒是在300000到30000000个。
在jis的标准下,无尘室的洁净度有8个等级,也就是说:在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。而一般洁净度就是指空气的洁净等级。
无尘室是一个人造的环境,也是指无尘室里面所带的尘埃是远远低于一个一般的环境的。无尘室的建立在,******的产业发展,加速了产业结构的变革二十一世纪的的今天的必要性也是在提高的。由于现在商品质量的高要求,还有就是尘埃和温度湿度对产品的威胁的情况下,无尘室的要求也日益增加,因此,无尘室内的材料也是相当重要的。随着集成电路技术的增加,在净化工程当中,无尘室的洁净度的要求也是越来越高的,就算在工业上,小于0.1微米的策划乃也会影响产品的生产和运行。
无尘车间也是可以说是无尘室,是指字将空气中的微粒子,***空气,***等一些污染物,还有温度湿度,压力控制在一定范围内的一个特设的房间内。不管是在外界的空气的条件如何变化,室内都要维持原先设定的洁净度,温度湿度的一些特性。而无尘车间就是为了控制产品所接触的大气的洁净度和温度湿度,让产品处在一个良好的环境当中生产制造。
而他的联邦(美国联邦标准(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3)标准中,洁净度的级别分为六个等级,分别是1,10,100,1000,10000,10000,100000。中国***生产车间的空气洁净度级别的标准分为四个等级,分别是:100,10000,100000,300000。无尘车间及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级G***073-2001。空气的洁净度的标准级别分为9级。
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