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波前在子午方向和弧矢方向上非常好，但在边缘视场不太好。我们再添加两个GNR命令。

这是AANT文件的相关部分：

GNR 0 1 4 P 0

GNR 0 1 4 P 1

GNR 0 1 4 P -1

GNR 0 1 4 P .7

GNR 0 1 4 P -.7

GNR 0 1 4 P .3

GNR 0 1 4 P -.3

GNR 0 1 4 P 0 1 0 F

GNR 0 1 4 P .7 .7 0 F

GNR 0 1 4 P -.7 .7 0 F

***后两行控制有问题的倾斜1视场点。 我们运行它并模拟退火，现在MAP显示波像差分布更均匀。 （注意比例变化。）现在我们需要直接控制OPD。 我们复1制所有GNR行并在它们下面粘贴一份副本。 然后我们将新命令行中的GNR更改为GNO。 这将纠正OPD而不是横向色差。 我们还将这些命令行的权重更改为0.1而不是1.0。 （一个波长的OPD远优于1毫米的弥散斑。）波前差稍微好了一点，但边缘视场角仍然需要注意。 我们将GNO的权重增加到0.2。 以这种方式进行，我们调整那些显示大方差的视场点的权重，并保持优化和模拟退火。 我们让这些目标和权重取得了很好的平衡：

GNR 0 1 4 P 0

GNR 0 1 4 P 1

GNR 0 1 4 P -1

GNR 0 1 4 P .7

GNR 0 1 4 P -.7

GNR 0 1 4 P .3

GNR 0 1 4 P -.3

GNR 0 1 4 P 0 1 0 F

GNR 0 1 4 P .7 .7 0 F

GNR 0 1 4 P -.7 .7 0 F

GNO 0 .2 5 P 0

GNO 0 .2 5 P 1

GNO 0 .2 5 P -1

GNO 0 .1 5 P .7

GNO 0 .1 5 P -.7

GNO 0 .1 5 P .3

GNO 0 .1 5 P -.3

GNO 0 .2 5 P 0 1 0 F GNO 0 .2 5 P .7 .7 0 F

GNO 0 .2 5 P -.7 .7 0 F

我们还将GNO设置的网格数更改为5而不是4。

我们来看看结果。 ***差的视场点是GBAR 0.33。 这是由MDI对话框创建的图像。所有其他的点都更好。这是个不错的设计。让我们假设这个应用程序，我们将使用一个CCD阵列传感器，像素为10微米，这看起来很好。

你可以从RSOLID得到更好的视图，它只显示去中心CAO内部的部分表面。但首先，我们进入Edge向导(MEW)，选择Create All，并根据需要调整镜像的厚度。现在反射镜被赋予了真实的边缘和厚度。然后我们创建一个RSOLID图片：我们的自由曲面反射系统设计完成。

现在我们可以看看产生的形状。 请输入以下命令

FFA 2 0 RSAG SURF

生成下面的图片，显示实际形状和基本对称形状之间的差异：要查看轮廓，我们使用FFA 2 0 RSAG CONTOUR实际表面的形状由FFA 2 0 SAG CONTOUR给出：以这种方式进行，我们可以看看所有反射镜的形状。

畸变怎么样？ GDR请求也很好地处理了。 这是命令GDIS 31的图片。一点也不差。还有一个问题是：如何测试这些反射镜？ ***简1单的方法是在干涉仪中针对已知半径的参考波前进行测试时观察条纹。 FFA也可以证明这一点。 以下是命令FFA 2 0 RFRINGES的输出：如果你看到这种条纹斑图，反射镜是完1美的。

这就是人们如何使用工具设计自由形式的镜像系统。 计算机为您完成大部分工作。

现在由您和加工场进行足够的沟通，以便他们了解结果并正确地制作零件。 以下是一些指示：

1.在本例中，光学变焦，surface 4是按照我们的要求由Zernike项定义的。变量g39改变了扩张的中心点——因此它不在顶点。而后者也不在通光孔径的中心。有三个中心点需要考虑。

2.在将这些数据呈现给加工场时，请确保它们理解相关参数的坐标系统和位置

查看FFA的其他功能。 您可以在曲面上创建一个sags表，这对于运行精密铣削设备的技术人员来说非常重要。

从这里我们得到了y方向的GWR = 0.0008644和x方向的GWR =0.0003868。现在我们创建RLE文件。在EE编辑器中键入RLE文件

ID LASER DIODE BEAM CONVERTER UNI MM

WA1 .403

OBG 0.0008644 1 .0003868

1 TH 20

2

END

然后运行这个宏，你会得到一个结构简单初始结构很容易看出光束在X方向上与在Y方向上的差异:

SYNOPSYSAIgt;BEAM

ID LASERDIODE BEAM CONVERTER243421-JUL-18

13:43:50

GAUSSIAN BEAM ANALYSIS

SURFBEAM RADIUSWAIST LOCATIONWAIST RADIUSDIVERGENCE

18.6440000E-04 -3.8714234E-168.6440000E-040.148402

22.968045-20.0000008.6440000E-040.148402

SYNOPSYS AIgt;XBEAM

ID LASER DIODE BEAM CONVERTER243421-JUL-18 13:43:52

GAUSSIAN BEAM ANALYSIS

SURFBEAM RADIUSWAIST LOCATIONWAIST RADIUSDIVERGENCE

BEAMANALYSIS ΙS IN THE X-Z PLANE

13.8680000E-04 -6.0536896E-163.8680000E-040.331641

26.632828-20.0000003.8680000E-040.331641

SYNOPSYS AIgt;

曲面2上的GBR在Y方向上比在x方向上小得多，我们的第1个任务是把这个差异消除掉。我们需要在光束的中心插入一个透镜。在工作表中，制作一个检查点，然后单击WS工具栏中的Insert Element按钮。然后点击PAD显示器靠近中心的位置，程序将在该位置添加一个镜片。我们来看看光束输出的形状。输入MPE，衍射光学，选择旋转透1视选项，并在光束边缘显示一个圆形图案，用红色表示。然后单击执行。旋转显示器，你会看到X轴上的光束比Y轴上的光束要大得多。纠正这个问题，需要在表面3上添加一个圆柱体透镜。在WS中，选择该曲面，单击曲率对话框按钮，然后选择Toric或柱面按钮，并给出Y-Z半径10毫米和X-Z半径0。单击OK按钮并关闭对话框。现在我们在表面3上有一个圆柱体，但是我们必须调整它的参数，使表面4上的光束半径在X方向和y方向上相同。

创建一个新的宏。我们不希望光束太陡，所以我们要求镜片厚度由3毫米增加到33毫米。宏如下：

PANT

VY 2 RAD

VY 3 RAD

VY 3 TH END

AANT

M 33 1 A TH 3

M 7 1 A P YA 0 0 1 0 4

M 7 1 A P XA 0 1 0 0 4 END

SNAP SYN0 10

运行这个宏之后，将创建一个新的RPER绘图。光束在位置4确实是圆形的。但它还没有像我们希望的那样进行准直。在WS末尾添加另一个镜片。我们将在曲面5上，使用非旋转对称的kinoform曲面，光学，形状为USS 25。创建一个检查点，在WS中选择该曲面，然后再次打开曲率对话框。USS选项如下

如下灰面上的箭头所示，你必须从一个平坦的表面开始改变一个USS形状。点击平面按钮，然后点击USS按钮。当一个新的对话框打开时，选择类型25 Extended DOE，并单击OK和Close按钮。我们希望输出的光束是准直的，添加曲面 7，并使系统无焦。

然后我们修改zoom 1的要求，光学软件，所以它们应用于所有的变焦组。现在，如果我们想改变某个地方的权重，它将应用于所有变焦组。

除了终止AANT文件的END之外，ZGROUP指令还需要自己的END来终止组。 ***后，我们在ZGROUP命令行之前添加一个新的探测器ADT 8 1 1，以控制元件厚度，并重新优化和模拟退火。

现在我们拥有一个相当不错的镜头，有12个镜片。

我们猜测镜片1和3处的元件可以合并为一个元件。