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台泉工业钛泵,泵体采用钛合金精密铸造成型,无砂孔问题,可耐强酸碱和强腐蚀。电机与泵体是一体形同轴设计,不仅仅保证了电机的稳固性,而且水泵具备了空转性能。水泵广泛使用于电渡、涂装、化工、PCB线路板、环保设备等方面。
钛泵的工作原理
真空的实质就是具有较低气体分子浓度的空间。因此,只要降低空间的气体分子浓度就能获得真空,而不必有实际上的排气过程。钛泵正是基于此原理制造的。
通过加热、电离等方法使钛原子与空间气体分子发生一系列复杂的物理和化学反应,使气体分子伴随钛原子一起沉积下来,从而达到降低空间气体分子浓度的目的。这就是钛泵的基本工作原理。这与压缩泵的原理( 即将气体从一方压缩到另一方来获得真空) 有所不同。
钛泵有哪些优势
(1) 极限压强:10-8帕
(2) 抽速:
钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关,磁场强时抽速也大,对应***佳抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需要大抽速的场合,可用基本结构单元并联的方式使抽速达到50升/秒、100升/秒等。
(3) 启动压强:10-2帕
(4) 寿命:
a、阴极耗尽寿命
阴极钛板因溅射穿通而使泵无法使用。
b、阳极剥落寿命
阳极内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落,导致泵内压强的不规则强烈变化,使泵无法使用。
c、阳极吸饱寿命
阳极上吸附和溶解了大量的氦气、氢气,当达到饱和状态时泵不能再吸附气体。
在正常使用情况下,溅射离子泵的寿命可达几万小时。