ATC的专利微流技术是其他泄漏检测方法的革命性替代方案。它测量从密封部件/封闭件中提取的空气量，该空气量与其缺陷尺寸成比例。由于真空条件下的气体膨胀，ATC的IGLS微流量传感器更加灵敏。ATC提供两种运营机制：
- IGLS传感器 在滑动/粘性流动和真空中工作，从2 psia到气压条件（检测1微米的缺陷）。
- IMFS传感器在过渡和分子流动状态下工作（气流从6×10 -7 sccs）检测到0.1微米。
ATC仪器可以使用以下配置之一测量从您的零件中提取的空气：
- 密封部分，在真空室内。
- 加压部件，在真空室内。
- 真空从部件内部拉出，部分 不在 腔室内。
- 真空从部件内部拉出，部分暴露在外部压力下。
为什么它更好
- 无损。
- 周期时间更短。
- 直接测量泄漏流量。
- 在氦质谱范围内操作。
- 没有示踪气体。
- 温度敏***不显着。
- 大多数应用不需要硬真空。
- 降低维护和运营成本。