平顶光原价衍射光学的设计方法
衍射光学是基于光学衍射原理和利用计算机产生全息图和相息图（ｋｉｎｏｆｏｒｍｓ）以及微电子加工 技术而发展起来的一个新的光学分支。衍射光学元件能够同时实现几种光学功能，从而实现光学元件的微型阵列化与集成化。
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平顶光元件提高衍射光学元件意义
对于可以实际应用的衍射光学元件，主要的因素是它们在透过该元件时不但需要改变其传播的路径，而且还需要有足够的光强才能被应用，也就是元件的衍射效率占有重要性的地位。
衍射效率是指在某一个衍射方向上的光强与入射光强的比值。
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平顶光元件衍射
DOE的特点则是能够在保持较高衍射效率的同时对光强分布进行精1确控制，北京平顶光原件厂家，因此DOE成为实现离轴照明的理想元件。一般用于光刻系统离轴照明的DOE，其子单元个数需lt;10，设计数据量较大，上海平顶光原件，单元尺寸达到微米甚至是亚微米量级
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