MPS-4/6简易探针台
Mini Probe Station
|
型号 |
MPS-4 |
MPS-6 |
|
|
台
体 |
尺寸 |
4英寸 |
6英寸 |
|
水平旋转 |
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度***装置 |
||
|
X-Y移动行程 |
2英寸*3英寸 |
||
|
X-Y移动精度 |
10微米 |
||
|
样品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
||
|
针座平台 |
左右各一个针座平台，***多可放置6个探针座 |
||
|
背电极测试 |
样品台电学***悬空，4mm插孔可接背电极 |
||
|
显 微 镜 |
显微镜类型 |
单筒显微镜/体视显微镜 |
|
|
放大倍率 |
16X-200X |
||
|
移动行程 |
水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm |
||
|
光源 |
外置LED无极调节亮度环形光源 |
||
|
CCD |
200万像素/500万像素/1200万像素 |
||
|
探 针 座 |
X-Y-Z移动行程 |
12mm*12mm*12mm |
|
|
移动精度 |
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
||
|
吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
||
|
探 针 夹 具 |
线缆 |
同轴线/三轴线 |
|
|
漏电精度 |
10pA/100fA/10fA |
||
|
固定探针 |
弹簧固定/管状固定 |
||
|
接头类型 |
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
||
|
探 针 |
针尖直径 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
|
|
材质 |
钨钢/铍铜 |
||
|
外形 |
400mm长*380mm宽*500mm高 |
||
|
重量 |
约20千克 |
||
|
可选附件 |
加热台 |
屏蔽箱 |
|
|
显示器 |
光学平台 |
||
|
转接头 |
镀金卡盘 |
||
|
射频测试配件 |
光电测试配件 |
||
|
根据客户要求定制 |
|||