主要特点
该设备具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。完全彻底地清除样品表面的有机污染物。定时处理、快速处理、清洗效率高。 绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。在常温条件下进行超清洗，对样品非***性处理。
技术参数
|
反应舱规格 |
Φ350*L600mm(石英材质) |
|
反映舱有效容积 |
54L |
|
密封法兰 |
可视化观察窗折页开门结构 |
|
输入电源 |
220V/50Hz |
|
整机输入功率 |
500W |
|
射频功率 |
0-500W（连续可调） |
|
射频频率 |
13.56MHz |
|
常用工作气体 |
空气、***气、氮气或混合气体等 |
|
进气口 |
Φ6双卡套接口 |
|
整机规格 |
长*宽*高：800*400*1050mm |
|
整机重量 |
150KG |