为了防止无尘室受到污染,室内必须保持正压,如果无尘室内压力过高,造成门不易开关,因而使用泄压风门来保持无尘室内之微正压。通过泄压风门的风量一般在100-1200m/3 h之间,维持压力在5—40Pa之间。
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为了防止无尘室受到污染,室内必须保持正压,如果无尘室内压力过高,造成门不易开关,因而使用泄压风门来保持无尘室内之微正压。通过泄压风门的风量一般在100-1200m/3 h之间,维持压力在5—40Pa之间。
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