半导体测试手动探针台是专门为教学及科研机构量身定制的，具有良好的性能价格比，可测量pA级微小电流，配合测量仪器可完成标准MOS准静态C-V和高频（1MHz）C-V等测量要求。操作简便，性能稳定可靠，屏蔽效果好。客户名录：复旦大学微电子系、复旦大学微电子研究院、北京大学电子系、中科院化学所、大连理工大学、四川大学微电子系、济南大学物理系、哈尔滨工业大学、南京大学物理系、浙江大学硅材料******实验室、95992***。
产品介绍
技术指标
1、承载台：
移动范围： 手动调节，X方向200mm，螺距0.8mm，精度0.01mm；
手动调节，Y方向200mm，螺距0.8mm，精度0.01mm；
手动调节，Z方向5mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；
2、探针座：
移动范围： 手动调节，X方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；
手动调节，Y方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；
手动调节，Z方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm。
3、显微镜：
移动方向：Y，Z方向
总放大倍数：光学显微镜***大200X 连续可调；视频显微镜***大400X,（10”液晶显示器）
光源：环形荧光灯，220vAC，9w
4、 电气指标：
测量电流：可测量1pA电流
测量试验要求：a. 探针和chuck的漏电不大于1PA；
b. 探针和chuck的噪声不大于1PA；
c. 测量电压从-10V到+10V, 测量仪器4156C
5、加热台面指标：
加热温度范围：常温－200摄氏度或更高
温度控制精度：常温－100摄氏度：&plu***n;1摄氏度；
100－200摄氏度：&plu***n;2摄氏度；
晶片固定方式：压式固定和真空吸附