***(三***)、氟化钛、四氟化钛、氟化铍
***(三***)
分子式:CrF3
CAS:7788-97-8
绿色粉末或结晶, 沸点1100~1200℃/升华,熔点>1000℃,不溶于水,不溶于醇,微溶于酸,溶于***,相对密度(水=1)3.78
主要用途:用于印染工业,用作毛织品防蛀剂、卤化催化剂、大理石硬化及着色剂
氟化钛
分子式:F3Ti
CAS:13470-08-1
蓝色晶体。 难溶于水、稀酸和碱液中
用途:用于制取钛氟玻璃
四氟化钛
分子式:TiF4
CAS:7783-63-3
白色吸湿性粉末
含量:≥98.5%;
氯化物:≤0.15%;
***盐:0.2%;
铁:0.1%;
***盐:0.1%;
***:0.1%
用途:用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线等
氟化铍
分子式:BeF2
CAS:7787-49-7
白色粉末或结晶,熔点(℃)552沸点(℃)1175相对密度(水=1)1.9860
主要用途:制造铍及铍合金及玻璃工业等