倍福模块kl2889总线端子模块倍福PLC原装***ks2889倍福卡件BECKHOFF TwinCAT 为软件开发提供更大的灵活和便利 TwinCAT 可以在一台控制器上实现 4 套 PLC 控制，***快循环时间达到 85 微秒，同时将 NC 与 PLC 结合在一起，形成一个功能强大的控制 器，NC 与 PLC 通讯在实时核内部实现，几乎没有延迟时间。除了符合 IEC 61131-3 标准的语言编程外，TwinCAT PLC Control Visualization 还提供 了便利的 HMI 功能，结合 TwinCAT System Manager 的强大硬件管理功 能，无缝的融合了 I/O，PLC，NC，HMI 等控制要求。 EtherCAT 为 NC 控制的实时性提供强大基础 基于 EtherCAT 的 XFC 超高速以太网通讯，为融合 Beckhoff 的总线端子 提供了高实时性的选择，并为 NC 系统高实时性的控制提供了可靠的 保障。
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原丝生产线采用了 10 台 EtherCAT 总线的高性能 AX5000 系列驱 动器，将高速 I/O 和运动控制集成于 EtherCAT 上，实现了真正的一网 到底，同时 EtherCAT 强大的扩展能力，无缝的连接第三方控制设备， 为系统升级改造留下了空间。 TwinCAT 结合 EtherCAT 促进控制系统升级倍福模块kl2889总线端子模块倍福PLC原装***ks2889倍福卡件BECKHOFF山东省碳纤维工程技术研究中心的自控工程师说：采用 BECKHOFF 的 全集成 PC 控制系统，给碳纤维原丝生产控制工艺改进留下了更大的空 间，使控制系统调试变的更容易。光刻系统的要求非常严苛：它们要快速、重复、经济***地 批量制作高精度光掩码，尺寸***大为 4 m2 。关键要求是激光 束的***精度。这一切都基于一个具有高精度几何结构的减 振机架、坚固耐用的高速自动化系统和***的测量值补偿。
Artec Engineering GmbH 的***董事 Tobias Reiter 在对公司采 用 Beckhoff 产品作为控制设备平台时的决策评价时说道： “我们决定选用 Beckhoff 基于 PC 的自动化系统是因为我们 对系统精度及坚固性有着极为严格的要求。基于我们以往所 积累的经验来看，我们深信该系统能够满足性能、稳定性及 控制特性方面的高要求。” 与此同时，Kleo 进行了大量的市场调研，倍福模块kl2889总线端子模块倍福PLC原装***ks2889倍福卡件BECKHOFF证明了 Beckhoff 产 品具备高速率、不受外界干扰（如振动影响）的特性。Kleo 公 司的光刻系统经理 Stefan Scharl 说道：“通过我们的研究， 以及 FISW Steuerungstechnik GmbH 与 Stuttgart 大学合作进 行的有关激光光刻系统驱动尺寸课题得出的研究结果，加上 Artec 公司的大力推荐，我们***相信 Beckhoff 产品是我们 的***佳选择。”
机械设计是确保精度的前提 机架由一个手动放置（精度为 2 µm）的防振花岗岩基体、 一个悬空的花岗岩架及两个悬空的滑块构成。激光和一个自 动对焦系统安装在滑块上，它以 1 m/s 的速度和 10 m/s2 的 加速度将激光二极管纵向移动到基底的上方。三吨重的花岗 岩架将装置横向移动，***精度为 2.5 μm。压力系统控制对 焦和激光束的横向偏移。为了制作出所需的结构，倍福模块kl2889总线端子模块倍福PLC原装***ks2889倍福卡件BECKHOFF在运动过 程中不定地对激光束进行脉冲。 第 2 页 共 2 页 通过 EtherCAT 实现极速加工 控制系统的核心部分是一台 Beckhoff 控制柜式工控机 C6140（操作系统为 Windows XP ***版）和 TwinCAT 自动 化软件。“高速数据传输和处理是***激光***的前提条件。 因此，我们只使用高性能组件，如工控机 C6140、EtherCAT 总 线系统和 EtherCAT 端子模块。”
Tobias Reiter 如是说。Stefan Scharl 补充道：“这让我们能够获得高采样率、短周期时间（约 50 µs）和稳定的实时能力，它们都是激光束高精度***的基 础。 光刻系统的每根轴都有一个现场总线端子盒，用一根单独的 电缆连接至控制柜。“这样可减少布线工作量和拖缆数量， 这一点对我们来说特别关键。”Stefan Scharl 高兴地说道。“我 们想要减少拖缆的使用量，用玻璃光纤来代替，以减少机械 故障发生几率。” “我们使用 PROFIBUS 连接现场总线端子盒 和控制装置，包括 PC 和手持装置。由于 EtherCAT 具有开 放性，其它协议，如 PROFIBUS，也可通过总线端子模块系统