倍福卡件kl3001总线端子模块ks3001全新现货倍福模块BECKHOFF机械设计是确保精度的前提 机架由一个手动放置（精度为 2 µm）的防振花岗岩基体、 一个悬空的花岗岩架及两个悬空的滑块构成。激光和一个自 动对焦系统安装在滑块上，它以 1 m/s 的速度和 10 m/s2 的 加速度将激光二极管纵向移动到基底的上方。三吨重的花岗 岩架将装置横向移动，***精度为 2.5 μm。压力系统控制对 焦和激光束的横向偏移。为了制作出所需的结构，在运动过 程中不定地对激光束进行脉冲。
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第 2 页 共 2 页 通过 EtherCAT 实现极速加工 控制系统的核心部分是一台 Beckhoff 控制柜式工控机 C6140（操作系统为 Windows XP ***版）和 TwinCAT 自动 化软件。“高速数据传输和处理是***激光***的前提条件。倍福卡件kl3001总线端子模块ks3001全新现货倍福模块BECKHOFF 因此，我们只使用高性能组件，如工控机 C6140、EtherCAT 总 线系统和 EtherCAT 端子模块。”Tobias Reiter 如是说。Stefan Scharl 补充道：“这让我们能够获得高采样率、短周期时间（约 50 µs）和稳定的实时能力，它们都是激光束高精度***的基 础。 光刻系统的每根轴都有一个现场总线端子盒，用一根单独的 电缆连接至控制柜。“这样可减少布线工作量和拖缆数量， 这一点对我们来说特别关键。”Stefan Scharl 高兴地说道。“我 们想要减少拖缆的使用量，用玻璃光纤来代替，以减少机械 故障发生几率。”
“我们使用 PROFIBUS 连接现场总线端子盒 和控制装置，包括 PC 和手持装置。由于 EtherCAT 具有开 放性，其它协议，如 PROFIBUS，也可通过总线端子模块系统 轻松集成倍福卡件kl3001总线端子模块ks3001全新现货倍福模块BECKHOFF。” Tobias Reiter 解释道。 借助 Beckhoff 驱动技术实现高精度*** “直线电机用于移动龙门架和滑块，而自动对焦系统的部件 则由伺服电机驱动。电机由 Beckhoff AX2xxx 系列数字式伺 服驱动器驱动。结合 TwinCAT 自动化软件，我们能够*** ***激光，且重复精度高。”Tobias Reiter 如此说道。
“尽管 滑块运动具有高动态性，我们仍能够实现匀速运动，在短暂 的加速阶段后，速度公差小于 0.01 m/s。” 倍福卡件kl3001总线端子模块ks3001全新现货倍福模块BECKHOFF直线电机为反向 旋转。“这样一来，我们就能够避免高扭矩并可实现脉冲推 力补偿。为了避免受到干扰，龙门架中两根电气***的直线 电机借助 TwinCAT NC PTP 通过耦合实现同步，精度可达 5 µm。” 龙门架与滑块的每次移动都需要***和取消***空气轴承。 “这一过程必须快速、***，位置上无任何变动。”Stefan