| 大中型等离子机规格型号 | ||||||
| 机台名称 | 大中型等离子蚀刻及清洗系统 | |||||
| 机台型号 | OKSUN-PM24A | OKSUN-PM16A | OKSUN-PM12A | OKSUN-PM10A （适合PTFE板） | OKSUN-PM10B （适合超长板材） | OKSUN-PM08B |
| 用途 | 4种气体通入，不同组合用于不同用途，可用于高频板PTFE，软硬结合板，多层软板，柔性版镀化金之前或之后清洗，邦定前清洗，***T板贴片前清洗。 | |||||
| 整机规格(长x高x宽) | 1800x2200x1200mm | 2000x2200x1200mm | 2000x2000x1200mm | 2000x18000x1200mm | 1800x1800x1600mm | 1600x1600x1150mm |
| 电极板尺寸(长x宽) | 650x480mm | 850x550mm | 650x1220mm | 550x460mm | ||
| 处理层数 | 24层 | 16层 | 12层 | 10层 | 10层 | 8层 |
| 单次产能 | 7.5平方 | 7.5平方 | 5.5平方 | 4.5平方 | 8.0平方 | 2.0平方 |
| 气体通道 | 4通道：N2,H2,CF4,O2 | 4通道：N2,H2,CF4,O2 | 4通道：N2,H2,CF4,O2 | 2通道：N2,H2(可扩展) | 4通道：N2,H2,CF4,O2 | 4通道：N2,H2,CF4,O2 |
| 等离子规功率 | PMF-10KW，中频40KHz | PMF-10KW，中频40KHz | PMF-10KW，中频40KHz | PMF-8KW，中频40KHz | PMF-10KW，中频40KHz | PMF-5KW，中频40KHz |
| 机台描述 | 高配型，触控式工控电脑，全中文界面，全自动流程，可处理多种板材 | 高配型，触控式工控电脑，全中文界面，全自动流程，可处理多种板材 | 高配型，触控式工控电脑，全中文界面，全自动流程，可处理多种板材 | 经济型，触摸屏，全中文界面，全自动流程，适合处理高频微波板材 | 高配型，触控式工控电脑，全中文界面，全自动流程，适合大批量生产 | 高配型，触控式工控电脑，全中文界面，全自动流程，适合小批量生产 |
等离子通常称作物质的第四种状态，前三种状态是固体、液体、气体，它们是比较常见的，就存在于我们周围。等离子在地球上只存在于某种特定环境，如闪电、极光。就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子（包括原子、离子和自由粒子）混合组成。离子体能够导电。
等离子技术的应用
通过对物体表面进行等离子轰击，可以达到对物体表面的蚀刻，活化，清洗等目的。可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度，等离子表面处理系统现正应用于LCD，LED，IC，PCB，***T，BGA，引线框架，平板显示器的清洗和蚀刻。等离子清洗过的IC可显著提高焊线强度，减少电路故障的可能性。残余的感光阻剂、树脂，溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区，短时间内就能清除。PCB制造商用等离子蚀刻系统进行去污和蚀刻来带走钻孔中的绝缘物。对许多产品，不论它们是应用于工业。电子、航空、健康等行业，可靠性都依靠于两个表面之间的粘结强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物，等离子体都有潜能改进粘着力，提高***终产品质量。等离子体改变任何表面的能力是安全的、环保的、经济的。它是许多行业面临的挑战问题的可行的解决方案。
等离子处理的原理
给一组电极通上射频电源，电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体，活性等离子对物体表面进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到表面处理的目的。
在整个等离子处理过程中，影响等离子处理效果的要素包括过程温度、射频功率、气体分配、真空度、电极设置、静电保护等等。