CV-2000三丰轮廓仪

日本三丰轮廓测量仪CV-2000技术参数
X1 轴
　测量范围: 50mm (CV-1000) 或 100mm(CV-2000)
　分辨率: 0.2μm
　检测方法: 反射型线性编码器
　驱动速度: 0.2, 1mm/s 和手动
　测量速度: 0.2, 0.5mm/s
　移动方向: 向后
　直线度: 3.5μm/50mm (CV-1000),
3.5μm/100mm (CV-2000)
* 当X 轴在水平方向上
　指示精度: &plu***n;(3.5+2L/100)μm
* L 为驱动长度(mm)
　倾斜范围: &plu***n;45° (CV-2000)
Z2 轴(立柱，仅用于CV-2000)
　立柱类型: 电动(S4 型) 和手动(M4 型)
　垂直行程: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型)
　分辨率: 0.2μm (S4 型)
　检测方法: ABSOLUTE 线性编码器 (S4 型)
　驱动速度: 0 - 5mm/s 和手动