***器械清洗用超纯水主要是针对***生产企业，如净化车间清洗用水，生产线上清洗产品用水。
设备部件
1、预处理由石英砂过滤器、活性碳过滤器、全自动软水 器、精密过滤器组成，也可选用超滤系统作为预处理，但通常工程造价要高。预处理主要目的是去除原水中含有的泥沙，铁锈、胶体物质、悬浮物、色度、异味、生化有机物。当原水中硬度较高时，可选择全自动软水器，这样有效的保护了反渗透膜，从而延长了反渗透膜的使用寿命。
2、反渗透主机主要由高压泵、膜壳、进口反渗透膜组件，在线仪表、控制电气等组成。只要膜的数量及泵的型号选型得当，反渗透主机脱盐率及产水量都能达到额定指标，出水电导率可保证在≤10us. CM以下，(原水电导率小于500us/cm,工作温度：1～40℃)
3、 后处理部分是对反渗透制取的纯水作进一步的深化处理以制取超纯水，通常是离子交换混床设备或EDI设备，根据客户要求，出水阻率可达到 18.2MΩ.CM，如果是应用在直饮水工艺上，则加上杀菌装置即可，通常为紫外线杀菌器或者臭氧发生器，从而使生产出来的水达到直饮标准。
工艺流程
1、 原水－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－一级反渗透 设备－中间水箱－中间水泵－离子交换器－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－微孔过滤器－用水点(2000版GMP传统工艺)
2、 原水－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－级反渗透 －PH调节－中间水箱－第二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－ 微孔过滤器－巴氏消毒—用水点《2005版GMP》目前用的多工艺
3、 原水－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－一级反渗透机－脱气膜-------中间水箱－中间水泵－EDI系统－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－微孔过滤器－巴氏消毒－用水点(2005版GMP新工艺 )
4、原水－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－级反渗透 －PH调节－中间水箱－第二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）---RO水箱－RO水泵－—TOC分***----EDI系统－－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－微孔过滤器－巴氏消毒－用水点(GMP***用水)
优势特点
1、预处理全部采用全自动过滤装置。
2、RO主机系统采用全自动控制装置，具备自动制水，自动冲洗，原水缺水停机、水箱满水停机、高压低压报警等功能。
3、RO主机配备在线显示装置：如压力表、电导率仪、流量计等。并可以实现在线监控。
4、制水系统泵采用南方泵(SUS304材质)，RO膜采用进口品牌。
5、抛光混床采用进口树脂，系统产水电阻率稳定在15兆欧以上(电导率小于0.06μs/cm)。
6、纯水箱采用SUS304卫生级材质(内外抛光)，另附带呼吸器以及喷淋球等。
7、纯水设备结构布置紧凑，占地面积小、有效节约空间。
8、纯水设备能耗低，有效节约能源。