奥林巴斯半导体检测显微镜MX61L / MX61
瑞科中仪公司代理销售奥林巴斯半导体检测显微镜MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，***的光学系统保证了***的图像分辨率和鲜明度。向您推荐的***好的半导体检测显微镜。
 前面板 [1] 照明强度旋钮 [2] 物镜倍率切换 [3] 孔径光阑调节 |
在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。
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观察姿势迅速到位的倾斜镜筒
 倾斜镜筒示意图 |
为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。
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高灵敏度载物台可以迅速决***置
 内置离合器的载物台手柄 |
对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284 mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。
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瑞科中仪向您推荐的奥林巴斯显微镜具有鲜明图像和***的分辨率为特点的光学系统多种选择，可实现***的成像性能 。
物镜是观察样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。
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丰富的产品阵容，可按需选择
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平场复消色差透镜
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平场半复消色差透镜
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明暗视场用平场半复消色差透镜
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反射偏振光用平场半复消色差透镜
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长工作距离平场半复消色差透镜
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明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜
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平场消色差透镜
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明暗视场用平场消色差透镜
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超长工作距离平场消色差透镜
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液晶长工作距离平场半复消色差透镜
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半导体／FPD检查显微镜 规格
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MX61L
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MX61
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光学系统
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UIS2光学系统（无限远校正）
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机身
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观察方法
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明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
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反射/透射
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反射/透射
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照明装置
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机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）
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照明系统
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反射照明
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100 W卤素/100 W***/75 W氙
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透射照明
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纤维光导
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对焦单元
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电动/手动
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手动
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行程
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32 mm
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分辨率/微调灵敏度
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微调旋钮转动1周移动0.1 mm
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***大样本高度
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30 mm
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物镜转换器
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电动型
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明视场微分干涉6孔
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明暗视场微分干涉5孔
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明暗视场微分干涉6孔
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明暗视场微分干涉中心输出5孔
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手动式
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-
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载物台
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行程
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14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm （透射照明范围356×284 mm） |
8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm （透射照明范围189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm |
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观察筒
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广角视场
（视场数22） |
倒置
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双目/三目观察筒
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正像
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三目观察筒
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超宽视场
（视场数26.5） |
倒置
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三目观察筒
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正像
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倾斜三目观察筒
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附件单元
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DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
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外形尺寸
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710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合） |
509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合） |
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重量
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51 kg（标准组合）
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40 kg（标准组合）
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