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上海双尔电子科技有限公司

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我们长期专注于硅片无接触式测量设备及检测设备的研发与生产。现有测量功能厚度TTV电阻率电阻率均匀性弯曲度\Bow翘曲度\Warp平整度\TIR型号\P/N。测量产品DSi2000无接触式硅片厚度电阻率测量仪DSi800无接触式晶圆几何参数测量仪DSi100H无接触式硅片高电阻率测量仪DSi100L无......

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无接触式厚度电阻率测量仪

产品编号：4507381                    更新时间：2020-09-03
价格： 来电议定

上海双尔电子科技有限公司
  • 主营业务：硅片测厚仪 硅片电阻率测量仪 硅片几何参数测量仪
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产品详情

硅片要求     规格： 方片125×125mm 、156×156mm
         圆片 3"、4"、5"、6"、8"

测量功能 厚度： 单点及多点厚度
                TTV: 总厚度偏差
           体电阻率： 单点及多点电阻率
                TRV: 总体电阻率偏差
测量指标 厚度 范围： 150-1000μm 
   测量误差:≤&plu***n;1.0μm
   重复性1σ:≤0.2μm 
  TTV 范围： 0.0-200.0μm
   测量误差：≤&plu***n;0.50μm
   重复性1σ:≤0.2μm
              电阻率 范围： 0.1-30Ω.cm
   测量误差：≤&plu***n;3.0%*R
   重复性1σ:≤1.5%*R
设备尺寸  360mm(L)×350mm(W)×500mm(H)
 

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地址：主营产品：硅片测厚仪 硅片电阻率测量仪 硅片几何参数测量仪

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