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上海双尔电子科技有限公司

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我们长期专注于硅片无接触式测量设备及检测设备的研发与生产。现有测量功能厚度TTV电阻率电阻率均匀性弯曲度\Bow翘曲度\Warp平整度\TIR型号\P/N。测量产品DSi2000无接触式硅片厚度电阻率测量仪DSi800无接触式晶圆几何参数测量仪DSi100H无接触式硅片高电阻率测量仪DSi100L无......

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无接触式硅片几何参数测量仪

产品编号：4507382 更新时间：2020-09-03

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上海双尔电子科技有限公司

主营业务：硅片测厚仪硅片电阻率测量仪硅片几何参数测量仪
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产品详情

能够测量Si，蓝宝石，GaAs，InP，Ge等材料
硅片要求
规格：        晶圆2"、 3"、4"、5"、6"、8"
测量功能      厚度：单点及多点厚度
       TTV:总厚度偏差
      Warp：翘曲度
  Bow:弯曲度

测量指标
  厚度范围：150-1000μm
   测量误差:≤&plu***n;1.0μm
   重复性1σ:≤0.2μm
  TTV 范围：0.0-200.0μm
   测量误差：≤&plu***n;1.0μm
   重复性1σ:≤0.5μm
  Warp 范围：500μm
   测量误差：≤&plu***n;4.0μm
   重复性1σ:≤0.5μm
  Bow 范围：&plu***n;500μm
   测量误差：≤&plu***n;4.0μm
   重复性1σ:≤0.5μm

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地址：主营产品：硅片测厚仪硅片电阻率测量仪硅片几何参数测量仪

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