4英寸单面抛光硅片参数规格
生长方式: 直拉 CZ
直径: 100.2&plu***n;0.3mm
型号: N型/磷、***、锑 P型/硼 (掺杂元素)
晶向: 111/100
电阻: 0.0015-60 Ω·cm(电阻范围可选、也可按照客户需要订制)
厚度: 200-5000μm(厚度范围可选、也可按照客户需要订制)
平整度TIR:<3μm
弯曲度Bow: <15μm
翘曲度TTV: <15μm
粗糙度nm : <0.5nm
库存现有厚度:200μm300μm、360μm、400μm、430μm、480μm、490μm、500μm、850μm 1000μm
特别标记的厚度与其他厚度价格略有不同。
盒装硅片 :真***装
上述概括了此产品参数,对产品有其它厚度或者参数要求请与本公司详谈